Пористая структура анодного оксида алюминия (АОА) используется как уникальная платформа для многих высокотехнологичных применений в нанотехнологии, нанофотонике и мембранных технологиях. Для измерения диаметра пор в плёнках АОА наиболее часто используют метод растровой электронной микроскопии, хотя с его помощью может быть получена информация лишь о поверхности образца с весьма ограниченной статистикой. Определение усредненных по всему объему образца характеристик может быть выполнено с помощью оптических методов. В нашей статье [1] показано, что угловая зависимость коэффициента пропускания пленок АОА имеет особенности, связанные с эффектом двулучепреломления падающего на образец света. Измерения угловых положений этих особенностей позволяют рассчитать среднюю пористость АОА. Такой метод определения пористости обеспечивает высокую точность, является неразрушающим и не требует сложной пробоподготовки. Предложенный метод измерения может быть использован для других оптически прозрачных материалов с протяженными цилиндрическими каналами, таких как анодный оксид титана, пористый оксид кремния, трековые мембраны, пористые плёнки диблоксополимеров.
Работа выполнена при финансовой поддержке Российского Научного Фонда (грант № 18-73-10151) и программы РФФИ-аспирант (грант № 20-33-90084).
[1] A.A. Noyan, K.S. Napolskii, Birefringence in anodic aluminum oxide: an optical method for measuring porosity // Materials Advances, 2022, v. 3, pp. 3642–3648. DOI: 10.1039/D2MA00111J.