Группа электрохимического наноструктурирования
Группа электрохимического
наноструктурирования    
Химический факультет МГУ
Москва, Ленинские горы, 1, стр. 3
+7 (916) 23-23-829
Заказать звонок
Главная
Новости
Состав группы
Научные направления
  • Анодный оксид алюминия
  • Металлические нанонити
  • Диоксид титана
Публикации
Программы
Контакты
EN
Ещё
    Группа электрохимического наноструктурирования
    Главная
    Новости
    Состав группы
    Научные направления
    • Анодный оксид алюминия
    • Металлические нанонити
    • Диоксид титана
    Публикации
    Программы
    Контакты
    EN
    Ещё
      Микронагреватели на основе Pt-Rh сплавов
      • Главная
      • Новости
      • Состав группы
      • Научные направления
        • Назад
        • Научные направления
        • Анодный оксид алюминия
        • Металлические нанонити
        • Диоксид титана
      • Публикации
      • Программы
      • Контакты
      • EN
      • +7 (916) 23-23-829
      Будьте на связи
      Химический факультет МГУ
      Москва, Ленинские горы, 1, стр. 3
      kirill@inorg.chem.msu.ru

      Микронагреватели на основе Pt-Rh сплавов

      • Главная
      • Новости
      • Микронагреватели на основе Pt-Rh сплавов
      Микронагреватели на основе Pt-Rh сплавов

      Планарные микронагреватели на основе сплава Pt-11%Rh демонстрируют высокую стабильность при рабочих температурах выше 500 °C

      1 января 2021

      В настоящее время полупроводниковые и термокаталитические газовые сенсоры активно используют для анализа состава атмосферы. Особенно перспективными являются исследования и разработки в области планарных чувствительных элементов с низким энергопотреблением, высокой устойчивостью к механическим нагрузкам и низким дрейфом сопротивления [1,2]. Материалом для создания нагревательного элемента сенсора чаще всего служит платина. Легирование родием существенно упрочняет платину за счет понижения диффузионной подвижности в сплаве от введения более тугоплавкого металла.

      В недавно опубликованной работе [3] успешно реализован метод формирования микронагревателей в виде двумерной спирали из плёнок платины и ее сплавов (Pt-11%Rh и Pt-21%Rh) на пористой подложке из анодного оксида алюминия, обеспечивающей высокую адгезию металлической плёнки и имеющей коэффициент термического расширения близкий к Pt и сплавам Pt-Rh.

      Установлено, что добавка 11 масс.% родия значительно повышает стабильность характеристик микронагревателей при рабочих температурах выше 500 °C. Достигнутые при этом электрофизические характеристики полученных устройств подтверждают перспективность их использования в качестве универсальной платформы для создания полупроводниковых и термокаталитических сенсоров токсичных и взрывоопасных газов.

      Работа выполнена при поддержке грантов РФФИ № 18-29-11097 и № 19-33-60088.


      [1] E.E. Karpov, E.F. Karpov, A. Suchkov, S. Mironov, A. Baranov, V. Sleptsov, L. Calliari, Energy efficient planar catalytic sensor for methane measurement // Sensors and Actuators A: Physical, 2013, v. 194, pp. 176-180. DOI: https://doi.org/10.1016/j.sna.2013.01.057.
      [2] I.V. Roslyakov, K.S. Napolskii, V.S. Stolyarov, E.E. Karpov, A.V. Ivashev, V.N. Surtaev, A Thin-Film Platform for Chemical Gas Sensors // Russian Microelectronics, 2018, v. 47, pp. 226-233. DOI: https://doi.org/10.1134/s1063739718040078.
      [3] I.A. Kalinin, I.V. Roslyakov, D.M. Tsymbarenko, D.A. Bograchev, V.V. Krivetskiy, K.S. Napolskii, Microhotplates based on Pt and Pt-Rh films: The impact of composition, structure, and thermal treatment on functional properties // Sensors and Actuators A: Physical, 2021, v. 317, 112457. DOI: https://doi.org/10.1016/j.sna.2020.112457.

      Поделиться
      Назад к списку
      © 2025 Все права защищены.
      Сайт создан компанией IT Архитектура
      Наши контакты


      +7 (916) 23-23-829
      kirill@inorg.chem.msu.ru
      Химический факультет МГУ
      Москва, Ленинские горы, 1, стр. 3